瑜伽部，密宗以五相成身观法为主。五相成身观又作五转成身、五法成身，属密教观行之一。此观法与三密观同为金刚法重要之观行。三密观乃以本尊与行者互入，而由横面作观，五相成身观则次第纵观五相。五相成身观行的次第为：
（1）通达菩提心：理论上悟到自己之本性即菩提心，即行者住于观察自心三摩地，诵自性成就真言，观自心形如月轮，此月轮中尚有轻雾（意味着还有“无明”）；
（2）修菩提心：进一步求实证，即诵真言、观自心如清净的满月轮，离诸烦恼垢染，离能执、所执的分别；
（3）成金刚心：观本尊之三昧耶形（三昧，寂定的意思，密宗将地水火风四大形成之宇宙万物默认为三昧耶身，其形态即三昧耶形），依广金刚与敛金刚两观，证得自身与诸佛之融通无碍。即观修菩提心之位的种子（心念）转成金刚莲华等本尊的三昧耶身，亦即观自心即三昧耶身之位。并依此行广金刚、敛金刚观法，广金刚即观舒展自心的三昧耶身广泛周遍于法界，敛金刚即观周遍于法界的自身渐次收敛而纳入自身的方寸，在此观中，法界万象皆与我合为一体，自心本具万德；
（4）证金刚身：通过成金刚心观行，行者自身证得本尊的三昧耶身之观行，按禅宗说法就是“我即是宇宙，宇宙即是我”。密宗认为成金刚心与证金刚身虽有心身之异，但同为三昧耶身之位；
（5）佛身圆满：完成观行后，密宗认为“我”与佛一致无二，即转证金刚身的三昧耶身为相好具足的本尊羯磨身，认为此为观行之极致，可即身成佛。
